拉姆研究

林研公司是半导体工艺关键设备的知名供应商，涵盖设计、生产、销售、维修及持续维护。这些复杂的系统是集成电路制造的基础。公司丰富的产品目录涵盖多种沉积技术。对于钨金属化，他们提供ALTUS系统，沉积共形薄膜。SABRE产品在电化学沉积方面表现出色，这对铜互连转变和铜大马士革制造至关重要。SOLA采用紫外热处理胶片处理，而VECTOR则提供等离子体增强化学气相沉积（CVD）和原子层沉积（ALD）溶液。此外，SPEED通过其高密度等离子体CVD产品满足间隙填充应用，Striker则专为介电薄膜的单晶圆原子层沉积而设计。除了沉积，Lam Research还提供全面的蚀刻工具套件。Flex设计用于介电蚀刻，Kiyo负责导体蚀刻工艺，Syndion专注于通过蚀刻的穿硅工艺，Versys金属产品用于金属蚀刻工艺。公司还提供如Coronus等专业解决方案，通过斜角清洗提升模具良率。针对各种晶圆清洗需求，Lam Research提供多条产品线，包括达芬奇、DV-Prime、EOS和SP系列。此外，Metryx质量计量系统为半导体晶圆制造提供了精确的在线质量测量能力。Lam Research服务全球半导体行业，其技术和服务分布在美国、中国、欧洲、日本、韩国、东南亚、台湾及其他国际市场。公司成立于1980年，总部设在加利福尼亚州弗里蒙特。